| 直徑 | 1“ | 2” | 3” | 4“ | 6” |
| 生長方法 | 區熔本征，中子輻照射，氣相摻雜 | ||||
| 純度 | 11N | ||||
| 直徑（mm） | 25.4±0.1 | 50.8±0.2 | 76.2±0.2 | 100±0.2 | 150±0.2 |
| 厚度（um） | 500±15 | 280±25 | 380±25 | 525±25 | 675±25 |
| 拋光 | SSP,DSP | SSP,DSP | SSP,DSP | SSP,DSP | SSP,DSP |
| 粗糙度 | Ra<5A | Ra<5A | Ra<5A | Ra<5A | Ra<5A |
| 類型 | P/B, N/Ph, | ||||
| 晶向 | <100><111>±0.5 | ||||
| 電阻率 | 1-300 ohm-cm(P,N); 150-200ohm-cm(N); 1000-20000 ohm-cm(P,N) | ||||
| 主參考邊 | 無 | 16.0±2.0 | 22.5±2.5 | 32.5±2.5 | 57.5±2.5 |
| 副參考邊 | 無 | 8.0±2.0 | 11.5±1.5 | 18.0±2.0 | 37.5±2.5 |
| TTV | <5um | <8um | <10um | <10um | <10um |
| Bow/Warp | <5um | <5um | <15um | <20um | <20um |